A high-stroke, high-pressure electrostatic actuator for valve applications
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2002

Författare

W. van der Wijngaart

H. Ask

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Sensors and Actuators, A: Physical

Vol. 100 2-3 264-271c

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Produktion