A high-stroke, high-pressure electrostatic actuator for valve applications
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2002
Författare
W. van der Wijngaart
H. Ask
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Sensors and Actuators, A: Physical
Vol. 100 2-3 264-271c
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Produktion