A free-hanging strain-gauge for ultraminiaturized pressure sensors
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2002
Författare
P. Melvås
Edvard Kälvesten
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Sensors and Actuators, A: Physical
Vol. 97-98 75-82
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Kirurgi
Industriell bioteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Produktion
Livsvetenskaper och teknik (2010-2018)