Vibration mode investigation of a resonant silicon tube for use as a fluid density sensor
Paper i proceeding, 1995
Författare
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Erik Stemme
IEEE International Workshop on Micro Electromechanical Systems (1995 MEMS), Jan. 29- Feb. 2, 1995, Amsterdam, The Netherlands
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Transport
Energi
Livsvetenskaper och teknik (2010-2018)