Vibration mode investigation of a resonant silicon tube for use as a fluid density sensor
Paper i proceeding, 1995

Författare

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Erik Stemme

IEEE International Workshop on Micro Electromechanical Systems (1995 MEMS), Jan. 29- Feb. 2, 1995, Amsterdam, The Netherlands

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Transport

Energi

Livsvetenskaper och teknik

Mer information

Skapat

2017-10-06