Silicon tube structures for a fluid density sensor
Paper i proceeding, 1995

Författare

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Erik Stemme

The 8th International Conference on Solid-State Sensors (TRANSDUCERS'95), Stockholm, Sweden, June 25-29

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Transport

Produktion

Energi

Livsvetenskaper och teknik