A valve-less planar pump isotropically etched in silicon
Paper i proceeding, 1995

Författare

Anders Olsson

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Erik Stemme

The Sixth Micromechanics Europe Workshop (MME'95), Copenhagen, Denmark, Sept. 3-5

120-123

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Livsvetenskaper och teknik

Mer information

Skapat

2017-10-06