A Coriolis mass flow sensor structure in silicon
Paper i proceeding, 1996

Författare

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Erik Stemme

IEEE International Workshop on Micro Electromechanical Systems (1996 MEMS), Feb. 11-15, San Diego, USA

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Transport

Energi

Livsvetenskaper och teknik