An improved valve-less pump fabricated using deep reactive ion etching
Paper i proceeding, 1996

Författare

Anders Olsson

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Erik Stemme

IEEE 9th International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS'96), San Diego, California, USA, Feb. 10-15

479-484

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Industriell bioteknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Produktion

Livsvetenskaper och teknik

Mer information

Skapat

2017-10-06