An improved valve-less pump fabricated using deep reactive ion etching
Paper i proceeding, 1996
Författare
Anders Olsson
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Erik Stemme
IEEE 9th International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS'96), San Diego, California, USA, Feb. 10-15
479-484
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Industriell bioteknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Produktion
Livsvetenskaper och teknik (2010-2018)