Gas Damping of Electrostatically Excited Resonators
Paper i proceeding, 1996
Författare
Thierry Corman
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
EUROSENSORS X, Leuven, Belgium, Sept. 8-11
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Transport
Produktion