Gas Damping of Electrostatically Excited Resonators
Paper i proceeding, 1996

Författare

Thierry Corman

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

EUROSENSORS X, Leuven, Belgium, Sept. 8-11

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Transport

Produktion