New Structure for Corner Compensation in Anisotropic KOH-etching
Paper i proceeding, 1996
Författare
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
The Seventh Micromechanics Europe Workshop (MME'96), Oct. 21-22, Barcelona, Spain
Ämneskategorier
Materialteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Produktion
Materialvetenskap