New Structure for Corner Compensation in Anisotropic KOH-etching
Paper i proceeding, 1996

Författare

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

The Seventh Micromechanics Europe Workshop (MME'96), Oct. 21-22, Barcelona, Spain

Ämneskategorier

Materialteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Produktion

Materialvetenskap