Low pressure encapsulated resonant structures excited electrostatically
Paper i proceeding, 1997

Författare

Thierry Corman

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Transducers'97, June 16-19, Chicago, USA

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Produktion