Deep wet etching of borosilicate glass using an anodically bonded silicon substrate as mask
Paper i proceeding, 1997
Författare
Thierry Corman
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
The 8th Micromechanics Europe Workshop (MME'97), Sept. 1-2, Southampton, England
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Produktion
Materialvetenskap
Ämneskategorier
Materialteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik