Deep wet etching of borosilicate glass using an anodically bonded silicon substrate as mask
Paper i proceeding, 1997

Författare

Thierry Corman

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

The 8th Micromechanics Europe Workshop (MME'97), Sept. 1-2, Southampton, England

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Produktion

Materialvetenskap

Ämneskategorier

Materialteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-07