Encapsulation of silicon resonant structures
Paper i proceeding, 1998

Författare

Thierry Corman

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

Micro Structure Workshop 1998 (MSW’98), March 26-27, Uppsala, Sweden

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Transport

Produktion

Materialvetenskap

Mer information

Skapat

2017-10-07