Encapsulation of silicon resonant structures
Paper i proceeding, 1998
Författare
Thierry Corman
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Göran Stemme
Micro Structure Workshop 1998 (MSW’98), March 26-27, Uppsala, Sweden
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Kemiteknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Transport
Produktion
Materialvetenskap