Novel burst technology for closed loop detection and excitation of resonant silicon sensors
Paper i proceeding, 1999

Författare

Thierry Corman

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Kjell Norén

Göran Stemme

Transducers´99, June 7-10, Sendai, Japan

Ämneskategorier

Maskinteknik

Materialteknik

Annan teknik

Kemiteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Nanovetenskap och nanoteknik

Transport

Produktion

Materialvetenskap