A low-pressure encapsulated DRIE resonant pressure sensor electrically excited and detected using `burst’ technology
Paper i proceeding, 1999

Författare

Jessica Melin

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Thierry Corman

Göran Stemme

MME´99, Sept. 27-28, Gif-sus-Yvette, France

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Transport

Produktion

Energi

Materialvetenskap