A low-pressure encapsulated DRIE resonant pressure sensor electrically excited and detected using `burst’ technology
Paper i proceeding, 1999
Författare
Jessica Melin
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Thierry Corman
Göran Stemme
MME´99, Sept. 27-28, Gif-sus-Yvette, France
Ämneskategorier
Maskinteknik
Annan teknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Transport
Produktion
Energi
Materialvetenskap