Development of micromechanical and optical devices incorporating deposited PZT films
Paper i proceeding, 2000
Författare
R. V. Wright
A. Patel
M. Pealat
R. Nonninger
R. Diels
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
C. Fox
P. Netter
12th International Symposium on Integrated Ferroelectrics (ISIF 2000), Aachen, Germany, March 12-15
Ämneskategorier
Maskinteknik
Materialteknik
Annan teknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Transport
Produktion
Materialvetenskap