Development of micromechanical and optical devices incorporating deposited PZT films
Paper i proceeding, 2000
Författare
R. V. Wright
A. Patel
M. Pealat
R. Nonninger
R. Diels
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
C. Fox
P. Netter
Publicerad i
12th International Symposium on Integrated Ferroelectrics (ISIF 2000), Aachen, Germany, March 12-15
Kategorisering
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Maskinteknik
Materialteknik
Annan teknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Informations- och kommunikationsteknik
Transport
Produktion
Materialvetenskap