Development of micromechanical and optical devices incorporating deposited PZT films
Paper i proceeding, 2000

Författare

R. V. Wright

A. Patel

M. Pealat

R. Nonninger

R. Diels

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

C. Fox

P. Netter

12th International Symposium on Integrated Ferroelectrics (ISIF 2000), Aachen, Germany, March 12-15

Ämneskategorier

Maskinteknik

Materialteknik

Annan teknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Transport

Produktion

Materialvetenskap