Highly sensitive triaxial silicon accelerometer with integrated PZT thin film detectors
Paper i proceeding, 2000

Författare

Korbinian Kunz

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Robert Wright

Göran Stemme

EUROSENSORS XIV, Copenhagen, Denmark, Aug. 27-30

Ämneskategorier

Maskinteknik

Materialteknik

Annan teknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Transport

Materialvetenskap