Highly sensitive triaxial silicon accelerometer with integrated PZT thin film detectors
Paper i proceeding, 2000
Författare
Korbinian Kunz
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Robert Wright
Göran Stemme
EUROSENSORS XIV, Copenhagen, Denmark, Aug. 27-30
Ämneskategorier
Maskinteknik
Materialteknik
Annan teknik
Elektroteknik och elektronik
Styrkeområden
Transport
Materialvetenskap