Barbed Spikes for Mechanical Chip Attachment
Paper i proceeding, 2001

Författare

Patrick Griss

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

IEEE International Workshop on Micro Electromechanical Systems (MEMS2001), Interlaken, Switzerland, Jan. 21-25

46-49

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Industriell bioteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Livsvetenskaper och teknik