Miniaturized pressure sensor using a free hanging strain-gauge with leverage effect for increased sensitivity
Paper i proceeding, 2001

Författare

P. Melvås

Edvard Kälvesten

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Göran Stemme

The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (TRANSDUCERS'01 / Eurosensors XV), Munich, Germany

Ämneskategorier

Maskinteknik

Annan teknik

Industriell bioteknik

Elektroteknik och elektronik

Styrkeområden

Livsvetenskaper och teknik