Micro pinball game demonstrating an easy MEMS transfer process using room temperature plasma bonding
Paper i proceeding, 2002
Författare
Martin Bring
Institutionen för mikroelektronik
Anke Sanz-Velasco
Institutionen för mikroelektronik
Henrik Rödjegård
Peter Enoksson
Institutionen för mikroelektronik
Proceedings of the 13th Micromechanics Europe workshop 2002, MME´02 Sinaia, Romania
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik