Micro pinball game demonstrating an easy MEMS transfer process using room temperature plasma bonding
Paper i proceeding, 2002

Författare

Martin Bring

Institutionen för mikroelektronik

Anke Sanz-Velasco

Institutionen för mikroelektronik

Henrik Rödjegård

Peter Enoksson

Institutionen för mikroelektronik

Proceedings of the 13th Micromechanics Europe workshop 2002, MME´02 Sinaia, Romania

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik