Comparing silicon deposition techniques for visible-blind detector fabrication
Paper i proceeding, 2012
Författare
A. Emadi
Peter Enoksson
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial och system
J. H. Correia
R. F. Wolffenbuttel
MME 2012, Micromechanics and Microsystems Europe Workshop September 9 - 12, 2012, Ilmenau, Germany
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (2010-2017)
Transport
Produktion
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik
Nanoteknik