Comparing silicon deposition techniques for visible-blind detector fabrication
Paper i proceeding, 2012
Författare
A. Emadi
Peter Enoksson
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
J. H. Correia
R. F. Wolffenbuttel
MME 2012, Micromechanics and Microsystems Europe Workshop September 9 - 12, 2012, Ilmenau, Germany
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik (SO 2010-2017, EI 2018-)
Transport
Produktion
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Elektroteknik och elektronik
Nanoteknik