Comparing silicon deposition techniques for visible-blind detector fabrication
Paper i proceeding, 2012

Författare

A. Emadi

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

J. H. Correia

R. F. Wolffenbuttel

MME 2012, Micromechanics and Microsystems Europe Workshop September 9 - 12, 2012, Ilmenau, Germany

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Transport

Produktion

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Nanoteknik