Application of flowable oxide ( FOx-12 ) for sub-10 nanometer scale fabrication
Paper i proceeding, 2003

dry etching

Electron beam nanolithography

oxide masks

Författare

Piotr Jedrasik

Maskinkonstruktion och design, MC2 process laboratorium

29th Micro- and Nano-Engineering, proceedings

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik