Application of flowable oxide ( FOx-12 ) for sub-10 nanometer scale fabrication
Paper i proceeding, 2003
dry etching
Electron beam nanolithography
oxide masks
Författare
Piotr Jedrasik
Maskinkonstruktion och design, MC2 process laboratorium
29th Micro- and Nano-Engineering, proceedings
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik