Application of flowable oxide ( FOx-12 ) for nanometer magnetic particle fabrication.
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2002

nanoparticles

Magnetic Force Microscopy

Electron beam lithography

Författare

Piotr Jedrasik

Institutionen för mikroelektronik och nanovetenskap

May Hanson

Institutionen för fysik

Microelectronic Engineering

Vol. 61-62 811-817

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik