Application of flowable oxide ( FOx-12 ) for nanometer magnetic particle fabrication.
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2002
nanoparticles
Magnetic Force Microscopy
Electron beam lithography
Författare
Piotr Jedrasik
Institutionen för mikroelektronik och nanovetenskap
May Hanson
Institutionen för fysik
Microelectronic Engineering
Vol. 61-62 2002 811-817
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik