Improved Tunable Performance of high Q-factor BaxSr1-xTiO3 Film Bulk Acoustic Wave Resonators
Paper i proceeding, 2012

Improved tunable performance of high Q-factor BaxSr1-xTiO3 film bulk acoustic wave resonators (FBARs) achieved by varying Ba concentration. The Ba0.5Sr0.5TiO3 FBARs reveal tunability of series resonance frequency up to 2.4%, electromechanical coupling coefficient up to 7.5% and rather high figure of merit, Qf1300 GHz. Correlations between the measured electroacoustic parameters are analyzed using the theory of dc bias induced piezoelectric effect in paraelectric phase ferroelectrics.

tunable FBAR

microwave film bulk acoustic resonator

Ferroelectric

multiferroic

Författare

Andrei Vorobiev

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

Spartak Gevorgian

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Terahertz- och millimetervågsteknik

15th European Microwave Week - Space for Microwaves Conference Proceedings

1-3

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Nanovetenskap och nanoteknik

Materialvetenskap

Drivkrafter

Hållbar utveckling

Ämneskategorier

Fysik

Elektroteknik och elektronik

Fundament

Grundläggande vetenskaper

Infrastruktur

Nanotekniklaboratoriet

ISBN

978-2-87487-028-6

Mer information

Skapat

2017-10-08