Room temperature wafer bonding of silicon, oxidized silicon, and crystalline quartz

Stefan Bengtsson; Petra Amirfeiz

doi:10.1007/s11664-000-0180-7

Room temperature wafer bonding of silicon, oxidized silicon, and crystalline quartz
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2000

Författare

Stefan Bengtsson

Institutionen för mikroelektronik

Forskning Andra publikationer

Petra Amirfeiz

Institutionen för mikroelektronik

Journal Of Electronic Materials

Vol. 29 7 909-915

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

DOI

10.1007/s11664-000-0180-7

Publikationsdata kopplat till DOI

Mer information

Skapat

2017-10-08

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se.

Meddelande

Din e-postadress

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Tillgänglighet

Citation Style Language
citeproc-js (Frank Bennett)

Chalmers bibliotek

Chalmers forskning

Chalmers examensarbeten

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE

Room temperature wafer bonding of silicon, oxidized silicon, and crystalline quartz Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2000