Room temperature wafer bonding of silicon, oxidized silicon, and crystalline quartz
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2000

Författare

Stefan Bengtsson

Institutionen för mikroelektronik

Petra Amirfeiz

Institutionen för mikroelektronik

Journal Of Electronic Materials

Vol. 29 7 909-915

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

DOI

10.1007/s11664-000-0180-7