Influence of SC-1/SC-2 cleaning on wafer-bonded silicon dioxide structures
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1996

Författare

Per Ericsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Journal Of The Electrochemical Society

Vol. 143 3722-3727

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik