Depleted semi-insulating silicon/silicon material formed by wafer bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2000
Författare
Mikael Johansson
Institutionen för mikroelektronik
Stefan Bengtsson
Institutionen för mikroelektronik
Publicerad i
Journal Of Applied Physics
Vol. 88 Nummer/häfte 2 s. 1118-1123
Kategorisering
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Annan elektroteknik och elektronik