research
.chalmers.se
In English
Logga in
Depleted semi-insulating silicon/silicon material formed by wafer bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2000
Författare
Mikael Johansson
Institutionen för mikroelektronik
Stefan Bengtsson
Institutionen för mikroelektronik
Forskning
Andra publikationer
Journal Of Applied Physics
Vol. 88 2 1118-1123
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik
Mer information
Skapat
2017-10-07