Depleted semi-insulating silicon/silicon material formed by wafer bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2000

Författare

Mikael Johansson

Institutionen för mikroelektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för mikroelektronik

Journal Of Applied Physics

Vol. 88 1118-1123

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik