Electrical characterization of low thermal budget gate oxides on Si/Si0.8Ge0.2/Si substrates
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2002

Författare

Alok Sareen

Institutionen för mikroelektronik

A. C. Lindgren

Per Lundgren

Institutionen för mikroelektronik

Stefan Bengtsson

Institutionen för mikroelektronik

Solid-State Electronics

Vol. 46 7 991-995

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

DOI

10.1016/S0038-1101(02)00032-1