Electrical characterization of low thermal budget gate oxides on Si/Si0.8Ge0.2/Si substrates
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2002
Författare
Alok Sareen
Institutionen för mikroelektronik
A. C. Lindgren
Per Lundgren
Institutionen för mikroelektronik
Stefan Bengtsson
Institutionen för mikroelektronik
Publicerad i
Solid-State Electronics
Vol. 46 Nummer/häfte 7 s. 991-995
Kategorisering
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
DOI
10.1016/S0038-1101(02)00032-1