Spontaneity of hydrophobic Si-Si bonding and properties of the bonded interfaces

Karin Ljungberg; Anders Söderbärg; Stefan Bengtsson; Anders Jauhiainen

Spontaneity of hydrophobic Si-Si bonding and properties of the bonded interfaces
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1993

Författare

Karin Ljungberg

Anders Söderbärg

Stefan Bengtsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Forskning Andra publikationer

Anders Jauhiainen

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Proc of the 2nd International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding. The Electrochemical Society

Vol. 93 29 473-

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-07

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se.

Meddelande

Din e-postadress

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Tillgänglighet

Citation Style Language
citeproc-js (Frank Bennett)

Chalmers bibliotek

Chalmers forskning

Chalmers examensarbeten

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE

Spontaneity of hydrophobic Si-Si bonding and properties of the bonded interfaces Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1993