Spontaneity of hydrophobic Si-Si bonding and properties of the bonded interfaces
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1993

Författare

Karin Ljungberg

Anders Söderbärg

Stefan Bengtsson

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Anders Jauhiainen

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Proc of the 2nd International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding. The Electrochemical Society

Vol. 93 473-

Ämneskategorier

Annan elektroteknik och elektronik