Thermal and electrical instabilities in wafer bonded SiO2 layers
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 1994
Författare
Per Ericsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Stefan Bengtsson
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Publicerad i
Proc. 25th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference. IEEE
Kategorisering
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Annan elektroteknik och elektronik