Ellipsometry studies of Si/Ge superlattices with embedded Ge dots
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2013
Författare
S. Kalem
TUBITAK Marmara Research Center
Örjan Arthursson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Nanotekniklaboratoriet
P. Werner
Max-Planck-Gesellschaft
Applied Physics A: Materials Science and Processing
0947-8396 (ISSN) 1432-0630 (eISSN)
Vol. 112 3 555-559Ämneskategorier
Nanoteknik
DOI
10.1007/s00339-013-7781-5