Micromachining by sacrificial aluminium etching
Licentiatavhandling, 1997

sacrificial aluminium etching

SALE

CMOS-compatible micromachining

aluminium etching

densitometer

surface micromachining

nozzle

sacrificial etching

inkjet

Författare

David Westberg

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

ISBN

992-460935-2

Technical report L - School of Electrical and Computer Engineering, Chalmers University of Technology. : 271

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se eller via telefon 031-772 3744.

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Länkar

Chalmers bibliotek
Chalmers forskning
Forskningsprojekt på chalmers.se

Chalmers tekniska högskola

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE