Micromachining by sacrificial aluminium etching
Licentiatavhandling, 1997

sacrificial aluminium etching

SALE

CMOS-compatible micromachining

aluminium etching

densitometer

surface micromachining

nozzle

sacrificial etching

inkjet

Författare

David Westberg

Institutionen för fasta tillståndets elektronik

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

ISBN

992-460935-2

Technical report L - School of Electrical and Computer Engineering, Chalmers University of Technology. : 271