Micromachining by sacrificial aluminium etching
Licentiatavhandling, 1997
sacrificial aluminium etching
SALE
CMOS-compatible micromachining
aluminium etching
densitometer
surface micromachining
nozzle
sacrificial etching
inkjet
Författare
David Westberg
Institutionen för fasta tillståndets elektronik
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Elektroteknik och elektronik
ISBN
992-460935-2
Technical report L - School of Electrical and Computer Engineering, Chalmers University of Technology. : 271