Epitaxial growth, processing and characterisation of III-V semiconductor micro- and nanostructures
Licentiatavhandling, 1997

micromapping

MBE

dry etching

III-V semiconductor

processing

alternative precursor

SEM

photoluminescence

quantum wire

self-narrowing etching

wet chemical etching

MOVPE

Författare

Otto Zsebök

Institutionen för mikroelektronik och nanovetenskap

Ämneskategorier

Nanoteknik

ISBN

992-473289-8