100 GHz SOI Gap Waveguides
Paper i proceeding, 2013

Two gap waveguide technologies, groove and ridge, are presented here for F-band applications. Three different groove gap waveguide devices and four different ridge gap waveguide devices have been fabricated. All of them were micromachined to achieve the feature size required for the frequency band and fabricated in a single process using SOI wafers. The two types provide a more robust coupling to standard waveguides and high frequency probes. Measurements for most of the devices are shown in this paper, showing robust measurements and good agreement with simulations. More measurements need to be done but the initial ones show the promise both in the manufacturing technique and the coupling. © 2013 IEEE.

High-frequency

Ridge

Micromachining

Waveguide

Bed of nails

Gap Waveguide

Groove

Författare

Sofia Rahiminejad

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Astrid Algaba Brazalez

Chalmers, Signaler och system, Kommunikationssystem, informationsteori och antenner, Antennsystem

Syed Hasan Raza Zaidi

Chalmers, Signaler och system, Kommunikationssystem, informationsteori och antenner, Antennsystem

Elena Pucci

Chalmers, Signaler och system, Kommunikationssystem, informationsteori och antenner, Antennsystem

Sjoerd Haasl

Kungliga Tekniska Högskolan (KTH)

Per-Simon Kildal

Chalmers, Signaler och system, Kommunikationssystem, informationsteori och antenner, Antennsystem

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems

510-513

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Nanovetenskap och nanoteknik

Transport

Produktion

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Nanoteknik

Infrastruktur

Nanotekniklaboratoriet

DOI

10.1109/Transducers.2013.6626815

ISBN

978-146735981-8