CMOS compatible on-chip decoupling capacitor based on vertically aligned carbon nanofibers
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2015
Low temperature
Carbon nanofibers
Decoupling capacitor
CMOS
Författare
Muhammad Amin
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Gert Göransson
Göteborgs universitet
Vincent Desmaris
Smoltek AB
Peter Enoksson
Chalmers, Teknisk fysik, Elektronikmaterial
Solid-State Electronics
0038-1101 (ISSN)
Vol. 107 15-19Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik
Transport
Produktion
Energi
Materialvetenskap
Ämneskategorier
Bearbetnings-, yt- och fogningsteknik
Nanoteknik
Drivkrafter
Innovation och entreprenörskap
Infrastruktur
Nanotekniklaboratoriet
DOI
10.1016/j.sse.2015.01.022