Rapid manufacturing of OSTE polymer RF-MEMS components
Paper i proceeding, 2017

This paper reports the first RF-MEMS component in OSTE polymer. Three OSTE-based ridge gap resonators were fabricated by direct, high aspect ratio, photostructuring. The OSTE polymer's good adhesion to gold makes it suitable for RF-MEMS applications. The OSTE ridge gap resonators differ in how they were coated with gold. The OSTE-based devices are compared to each other as well as to Si-based, SU8-based, and CNT-based devices of equal design. The OSTE-based process was performed outside the cleanroom, and with a fast fabrication process (∼1 h). The OSTE-based device performance is on par with that of the other alternatives in terms of frequency, attenuation, and Q-factor. © 2017 IEEE.

Författare

Sofia Rahiminejad

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Forskning Andra publikationer

J. Hansson

Kungliga Tekniska Högskolan (KTH)

Mercene Labs AB

Elof Köhler

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Forskning Andra publikationer

W. van der Wijngaart

Kungliga Tekniska Högskolan (KTH)

T. Haraldsson

Kungliga Tekniska Högskolan (KTH)

Mercene Labs AB

Sjoerd Haasl

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Forskning Andra publikationer

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Forskning Andra publikationer

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

10846999 (ISSN)

901-904 7863554

Styrkeområden

Informations- och kommunikationsteknik

Nanovetenskap och nanoteknik (2010-2017)

Transport

Produktion

Materialvetenskap

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Infrastruktur

Nanotekniklaboratoriet

DOI

10.1109/MEMSYS.2017.7863554

Publikationsdata kopplat till DOI

ISBN

9781509050789

Mer information

Senast uppdaterat

2018-09-21

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se eller via telefon 031-772 3744.

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Länkar

Chalmers bibliotek
Chalmers forskning
Forskningsprojekt på chalmers.se

Chalmers tekniska högskola

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE