Resonant mass loading calibration method for nanoindentor force sensor
Paper i proceeding, 2006

MEMS

Force calibration

third harmonic method

Författare

Alexandra Nafari

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Eurosensors XX 2006

Ämneskategorier

Reglerteknik