A method to evaluate MEMS bonding
Paper i proceeding, 2006
Författare
Farzan Alavian Ghavanini
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Cristina Rusu
Katrin Persson
Sjoerd Hassl
Henrik Rödjegård
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fasta tillståndets elektronik
Micro Structure Workshop 2006
Vol. 1 1 47-B3d
Ämneskategorier
Övrig annan teknik