A method to evaluate MEMS bonding
Paper i proceeding, 2006

Författare

Farzan Alavian Ghavanini

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Cristina Rusu

Katrin Persson

Sjoerd Hassl

Henrik Rödjegård

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Micro Structure Workshop 2006

Vol. 1 1 47-B3d

Ämneskategorier

Övrig annan teknik