Application of SOI based sensors for MEMS wafer-level packaging
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2006

Författare

Farzan Alavian Ghavanini

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

Cristina Rusu

Katrin Persson

Sjoerd Hassl

Henrik Rödjegård

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Fasta tillståndets elektronik

EuroSOI conference proceedings

Vol. 1 1 115,116-

Ämneskategorier

Övrig annan teknik

Mer information

Skapat

2017-10-07