Silicon straight tube fluid density sensor
Paper i proceeding, 2007
MEMS sensor
fabrication
density
microtube.
Författare
Mohammad Najmzadeh
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
Sjoerd Haasl
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap
proceedings of the 6th IEEE conference on sensors, Oct. 28-31, 2007, Atlanta
Vol. 1 1185-1188
Ämneskategorier
Elektroteknik och elektronik