Silicon straight tube fluid density sensor
Paper i proceeding, 2007

MEMS sensor

fabrication

density

microtube.

Författare

Mohammad Najmzadeh

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

Sjoerd Haasl

Peter Enoksson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2)

proceedings of the 6th IEEE conference on sensors, Oct. 28-31, 2007, Atlanta

Vol. 1 1185-1188

Ämneskategorier

Elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2017-10-08