Fabrication and characterization of MEMS airgap-based optical filters for the UV spectral range
Paper i proceeding, 2017

Författare

Mohammadamir Ghaderi

Technische Universiteit Delft

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Reinoud F Wolffenbuttel

Technische Universiteit Delft

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
Kaohsiung, Taiwan,

Ämneskategorier

Atom- och molekylfysik och optik

Annan fysik

Annan elektroteknik och elektronik

Mer information

Senast uppdaterat

2019-04-08