A photonic microsystem for hydrocarbon gas analysis by mid-infrared absorption spectroscopy
Paper i proceeding, 2017
Författare
J. Mandon
Radboud Universiteit
N.P. Ayerden
TU Delft
Mohammadamir Ghaderi
TU Delft
F. J. M. Harren
Radboud Universiteit
Reinoud F. Wolffenbuttel
TU Delft
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
10846999 (ISSN)
1052-1055978-150905078-9 (ISBN)
Las Vegas, USA,
Ämneskategorier
Atom- och molekylfysik och optik
Systemvetenskap
Reglerteknik
Annan elektroteknik och elektronik
DOI
10.1109/MEMSYS.2017.7863593