Thermal annealing of thin PECVD silicon-oxide films for airgap-based optical filters
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2016

Författare

Mohammadamir Ghaderi

TU Delft

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap (MC2), Elektronikmaterial och system

Ger de Graaf

TU Delft

Reinoud F. Wolffenbuttel

TU Delft

Journal of Micromechanics and Microengineering

0960-1317 (ISSN)

Vol. 26

Ämneskategorier

Annan materialteknik

Annan medicinsk bioteknologi

Annan elektroteknik och elektronik

Mer information

Skapat

2019-04-08