Nano–opto-electro-mechanical switches operated at CMOS-level voltages
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2019
Författare
Christian Haffner
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH)
National Institute of Standards and Technology (NIST)
University of Maryland
Andreas Joerg
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH)
Michael Doderer
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH)
Felix Mayor
E.L. Ginzton Lab
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH)
Daniel Chelladurai
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH)
Yuriy Fedoryshyn
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH)
Cosmin Ioan Roman
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH)
Mikael Mazur
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik
Maurizio Burla
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH)
Henri J. Lezec
National Institute of Standards and Technology (NIST)
Vladimir A. Aksyuk
National Institute of Standards and Technology (NIST)
Juerg Leuthold
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich (ETH)
Science
0036-8075 (ISSN) 1095-9203 (eISSN)
Vol. 366 6467 860-864Ämneskategorier
Atom- och molekylfysik och optik
Annan fysik
Den kondenserade materiens fysik
DOI
10.1126/science.aay8645
PubMed
31727832