MEMS meander harvester with tungsten proof-mass
Paper i proceeding, 2019
Författare
Elof Köhler
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Pontus Johannisson
RISE Research Institutes of Sweden
D. Kolev
RISE Research Institutes of Sweden
Fredrik Ohlsson
RISE Research Institutes of Sweden
P. Ågren
Silex Microsystems AB
Jessica Liljeholm
Silex Microsystems AB
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Cristina Rusu
RISE Research Institutes of Sweden
Journal of Physics: Conference Series
17426588 (ISSN) 17426596 (eISSN)
Vol. 1407 1 012121Daytona Beach, USA,
Smart MEMs Piezo based energy Harvesting with Integrated Supercapacitor and packaging (Smart-MEMPHIS)
Europeiska kommissionen (EU) (EC/H2020/644378), 2014-12-15 -- 2018-06-14.
Ämneskategorier
Acceleratorfysik och instrumentering
Annan fysik
Annan elektroteknik och elektronik
DOI
10.1088/1742-6596/1407/1/012121