CMOS Compatible Fabrication of Mid Infrared Microspectrometers Based on an Array of Metamaterial Absorbers
Paper i proceeding, 2019
MEMS spectrometer
CMOS Compatible fabrication
Metamaterial midinfrared absorber
Mid-IR detector array
Författare
Mohammadamir Ghaderi
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Reinoud F. Wolffenbuttel
TU Delft
2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems and Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 and EUROSENSORS XXXIII
Vol. June 2018 1580-1583 8808691
978-172812007-2 (ISBN)
Berlin, Germany,
Ämneskategorier
Acceleratorfysik och instrumentering
Inbäddad systemteknik
Annan elektroteknik och elektronik
DOI
10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808691