Dry film photoresist-based microfabrication: a new method to fabricate millimeter-wave waveguide components
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2021
microfabrication
MEMS
gap waveguide
THz
dry film photoresist
Författare
Sadia Farjana
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Mohammadamir Ghaderi
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Sofia Rahiminejad
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
California Institute of Technology (Caltech)
Sjoerd Haasl
RISE Research Institutes of Sweden
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Enoaviatech AB
Micromachines
2072666x (eISSN)
Vol. 12 3 1-13 260Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik
Ämneskategorier (SSIF 2011)
Övrig annan teknik
Nanoteknik
Infrastruktur
Myfab (inkl. Nanotekniklaboratoriet)
DOI
10.3390/mi12030260