Dry film photoresist-based microfabrication: a new method to fabricate millimeter-wave waveguide components
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2021
MEMS
dry film photoresist
THz
gap waveguide
microfabrication
Författare
Sadia Farjana
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Mohammadamir Ghaderi
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Sofia Rahiminejad
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Jet Propulsion Laboratory, California Institute of Technology
Sjoerd Haasl
RISE Research Institutes of Sweden
Peter Enoksson
Enoaviatech AB
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Micromachines
2072666x (eISSN)
Vol. 12 3 1-13 260Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik
Ämneskategorier
Övrig annan teknik
Nanoteknik
Infrastruktur
Nanotekniklaboratoriet
DOI
10.3390/mi12030260