Formation of silicon structures by plasma-activated wafer bonding
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2000
Författare
Petra Amirfeiz
Institutionen för mikroelektronik, Fasta tillståndets elektronik
Stefan Bengtsson
Institutionen för mikroelektronik, Fasta tillståndets elektronik
Mats Bergh
Ezio Zanghellini
Chalmers, Institutionen för experimentell fysik
Lars Börjesson
Chalmers, Teknisk fysik
Journal Of The Electrochemical Society
Vol. 147 7 2693-2698
Ämneskategorier
Annan elektroteknik och elektronik
DOI
10.1149/1.1393591