Thermally regenerable optical transparent MEMS windows for exhaust gas analysis
Paper i proceeding, 2020
Författare
Mohammadamir Ghaderi
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Luke M. Middelburg
TU Delft
David Bilby
Ford Motor Company
Jaco H. Visser
Ford Motor Company
Per Lundgren
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Peter Enoksson
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Elektronikmaterial
Reinoud F. Wolffenbuttel
TU Delft
Optics InfoBase Conference Papers
JM2F.2
9781557528209 (ISBN)
Virtual, Online, USA,
Ämneskategorier
Atom- och molekylfysik och optik
Annan fysik
Bioteknisk apparatteknik