Thin-film UV VCSELs and LEDs by electrochemical etching
Paper i proceeding, 2022

We will give an overview of state-of-the-art results and challenges to achieve high-performing III-nitride vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSELs), with a particular focus on the requirements to push the emission wavelength into the ultraviolet (UV). Our method to simultaneously achieve high-reflectivity mirrors and good cavity length control by electrochemical etching enabled the world’s first UV-B VCSEL. The use of dielectric mirrors yielded lasers with a very temperature-stable emission wavelength thanks to the negative thermo-optic coefficient of the mirrors. We have used the same etch methodology to also lift-off fully processed LEDs from their growth substrate to improve the light extraction efficiency.

led

vcsel

electrochemical etching

Författare

Åsa Haglund

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik

Forskning Andra publikationer

Filip Hjort

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik

Forskning Andra publikationer

Johannes Enslin

Technische Universität Berlin

Michael Alexander Bergmann

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik

Forskning Andra publikationer

Munise Cobet

Technische Universität Berlin

Giulia Cardinali

Technische Universität Berlin

Nando Prokop

Technische Universität Berlin

Lars Persson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik

Forskning Andra publikationer

Martin Guttmann

Technische Universität Berlin

Luca Sulmoni

Technische Universität Berlin

Neysha Lobo-Ploch

Ferdinand-Braun-Institut fur Hochstfrequenztechnik

Tim Kolbe

Ferdinand-Braun-Institut fur Hochstfrequenztechnik

Johan Gustavsson

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik

Forskning Andra publikationer

Joachim Ciers

Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Fotonik

Forskning Andra publikationer

Tim Wernicke

Technische Universität Berlin

Michael Kneissl

Technische Universität Berlin

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

0277786X (ISSN) 1996756X (eISSN)

Vol. PC12022

Light-Emitting Devices, Materials, and Applications XXVI at SPIE Photonics West,
San Francisco, USA,

Styrkeområden

Nanovetenskap och nanoteknik

Materialvetenskap

Ämneskategorier

Fysik

Annan materialteknik

Elektroteknik och elektronik

Nanoteknik

Infrastruktur

Chalmers materialanalyslaboratorium

Nanotekniklaboratoriet

Mer information

Senast uppdaterat

2023-01-20

Feedback och support

Om du har frågor, behöver hjälp, hittar en bugg eller vill ge feedback kan du göra det här nedan. Du når oss också direkt per e-post research.lib@chalmers.se.

Om tjänsten

Research.chalmers.se innehåller information om forskning på Chalmers, publikationer och projekt inklusive information om finansiärer och samarbetspartners.

Läs mer om tjänsten, täckningsgrad och vilka som kan se informationen

Personuppgifter och cookies

Tillgänglighet

Citation Style Language
citeproc-js (Frank Bennett)

Länkar

Chalmers bibliotek
Chalmers forskning
Chalmers examensarbeten

Chalmers tekniska högskola

412 96 GÖTEBORG
TELEFON: 031-772 10 00
WWW.CHALMERS.SE