Qubit-compatible substrates with superconducting through-silicon vias
Artikel i vetenskaplig tidskrift, 2022
We fabricate and characterize superconducting through-silicon vias and electrodes suitable for superconducting quantum processors. We measure internal quality factors of a million for test resonators excited at single-photon levels, on chips with superconducting vias used to stitch ground planes on the front and back sides of the chips. This resonator performance is on par with the state of the art for silicon-based planar solutions, despite the presence of vias. Via stitching of ground planes is an important enabling technology for increasing the physical size of quantum processor chips and is a first step toward more complex quantum devices with 3-D integration.
Q-factor
Semiconductor device measurement
Resonators
Through-silicon vias
Superconducting microwave devices
Electrodes
Qubit
Författare
Kestutis Grigoras
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Nikolai Yurttagul
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Jukka-Pekka Kaikkonen
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Elsa Mannila
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
P. Eskelinen
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Daniel Perez Lozano
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
Hangxi Li
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
Marcus Rommel
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Nanotekniklaboratoriet
Daryoush Shiri
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
Nils Tiencken
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Slawomir Simbierowicz
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
A. Ronzani
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
J. Hatinen
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
D. Datta
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Visa Vesterinen
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Leif Gronberg
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Janka Biznárová
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
Anita Fadavi Roudsari
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
Sandoko Kosen
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
Amr Osman
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
M. Prunnila
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Juha Hassel
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
Jonas Bylander
Chalmers, Mikroteknologi och nanovetenskap, Kvantteknologi
Joonas Govenius
Teknologian Tutkimuskeskus (VTT)
IEEE Transactions on Quantum Engineering
26891808 (eISSN)
Vol. 3 5100310An Open Superconducting Quantum Computer (OpenSuperQ)
Europeiska kommissionen (EU) (EC/H2020/820363), 2018-10-01 -- 2021-09-30.
Styrkeområden
Nanovetenskap och nanoteknik
Materialvetenskap
Ämneskategorier
Nanoteknik
Annan elektroteknik och elektronik
Den kondenserade materiens fysik
DOI
10.1109/TQE.2022.3209881